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钼是一种金属元素,元素符号:Mo,英文名称:Molybdenum,原子序数42,是VIB族金属。钼的密度为10.2g/cm³,熔点为2610℃,沸点为5560℃。钼是一种银白的金属,硬而坚韧,熔点高,热传导率也比较高,常温下不与空气发生氧化反应。作为一种过渡元素,易改变其氧化状态,钼离子的颜也会随着氧化状态的改变而改变。钼是人体及动植物所的微量元素,对人以及动植物的生长、发育、遗传起着重要作用。钼在地壳中的平均含量为0.00011%,钼资源储量约为1100万吨,探明储量约为1940万吨。由于钼具有高强度、高熔点、耐腐蚀、耐磨研等优点,被广泛应用于钢铁、石油、化工、电气和电子技术、医和农业等领域。
引 言
随着电子及信息产业的迅猛发展,对溅射靶材的需求不断增加,同时对其技术及靶材性能的要求也在不断提高。 难熔金属钼具有高熔点(2620±20℃)、高弹性模量(280~390 GPa)、低线性热膨胀系数(5.8 ×10-6 ~ 6.2 ×10-6 / K)、高耐磨性、良好的导电/ 导热性能和热稳定性[1 - 3]。 因此,钼靶材经磁控溅射制成的钼合金薄膜是平面显示用液晶显示器面板的电或配线的关键材料。
在电子行业中,为了提高溅射效率和确保溅射薄膜的质量,要求溅射靶材具有高纯度、高致密度、晶粒细小且尺寸分布均匀、结晶取向一致等特性。
纯钼靶材溅射出的薄膜在耐腐蚀性(变) 和密着性(膜的剥离)等方面仍有待改善。 已有研究表明:在钼中加入适量合金元素(V、Nb、W、Ta)可使其比阻抗、应力、耐腐蚀性等各种性能达到均衡。 因此,目前钼合金靶材已经取代纯钼靶材成为研究的热点。 添加 W 可以有效提高钼的高温强度和再结晶温度,抑制钼靶材中的晶粒长大,但是钨的比重大且室温脆性大,钨添加量较大时会导致钼合金靶材较重,且塑性降低,容易萌生裂纹[4]。 Jorg 等[5]的研究表明,在钼中添加 20% (原子数分数)Al 和 10% (原子数分数)Ti 可以改善钼的抗氧化性能,并同时保持其低电阻率。 由于钼与铌均具有体心立方的晶体结构, 两 者 之 间 的 晶 格 错 配 度 低, 在 钼 中 添 加5% ~ 10% (质量分数) Nb 可以显著提高溅射薄膜的比电阻、耐腐蚀性能和黏结力[6 - 7]。 由于钽会优先被氧化形成钝化层,所以添加Ta元素可以降低薄膜的腐蚀率,但会造成钼合金薄膜电阻率升高[8]。
与钼铌合金薄膜相比,钼钽合金薄膜晶粒细化效果更加显著,薄膜沉积速率更大,薄膜表面粗糙度更小,但薄膜的电阻率更大[9]。Mo 靶材组织对溅射薄膜形貌与性能的影响研究结果表明:靶材组织、择优取向对薄膜形貌与取向影响不大,但靶材晶粒尺寸及均匀性会影响薄膜沉积速率、薄膜厚度及薄膜的方阻[10]。 马杰等[11] 研究了钼靶材变形量及热处理对薄膜组织与性能的影响,结果显示:相较于变形量小的钼靶材,80% 变形量的钼靶材溅射所得薄膜晶化程度更高;钼靶材经1 050 ℃退火后溅射制得薄膜粗糙度小。
磁控溅射是钼合金薄膜的主要制备技术。 靶材作为磁控溅射过程中的关键材料,不仅使用量大,而且靶材质量的好坏对钼合金薄膜的性能起着决定作用。 本文从粉体优化、混粉工艺、成型和烧结技术等方面对钼及钼合金溅射靶材相关专利进行了统计与分析,旨在为开发高品质钼合金多元靶材提供借鉴。
1 、专利统计与分析
1.1 粉体优化
专利(CN 103990802 B) [12] 通过优化 Mo 粉末的性状,开发出了一种高密度、高纯度 Mo 合金溅射靶材的制备方法,所制备 Mo 合金溅射靶材能够稳定、廉价地制造出低电阻、高耐湿/高耐热性、与基体密合性的高品质薄膜。
专利(CN 103173728 B) [13] 发明了一种廉价且可稳定制备 Mo 合金溅射靶材的方法,即将 Mo 粉与1 种或 2 种以上的 Ni 合金粉末混合(Ni6Nb7、Ni3Nb),在 800 ~ 1 500 ℃ 下加压烧结(10 ~ 200 MPa)。 Mo合金中 Ni 与 Nb 含量低于 50% (原子数分数),其中Nb 含量低于 20% (原子数分数)。 该专利避免了使用 Mo、Ni、Nb 粉末作为原料,解决了合金化不充分造成的 Ni 铁磁相的残留,稳定了溅射速度,提高了靶材寿命。
专利(CN 102127741 A) [14] 提出了一种薄膜太阳能电池用高纯钼靶的制备方法。 该方法首先采用钼酸铵为原料,经焙烧获得三氧化钼,随后在 450 ~600 ℃高纯氢气气氛下进行一次还原得到二氧化钼,再在 950 ~ 1050 ℃进行二次还原得到 Mo 粉,然后经过混料、筛分、等静压成型后,在中频感应炉中于 1 950 ~ 2 000 ℃烧结,通过大功率电子束熔炼提纯,经锻造、热轧、热处理退火、机械加工、超声波清洗、钎焊等工序制得高纯度、高密度和均匀性良好的钼靶。 该专利的之处在于:(1) 通过高纯氢气多次还原氧化钼提高钼粉纯度;(2) 采用大功率电子束熔炼提纯有利于碳氧充分反应,提高脱氧效果;(3)大变形量热轧可确保钼靶材晶粒平均尺寸小于 50 μm。
专利(CN 103160791 B) [15]采用三氧化钼、氢氧化钠和钼金属为原料,经过反应、球磨、过筛和热压工序制成钠掺杂钼平面溅射靶材,其中钠的原子数分数为 1% ~ 10% ,钠的掺杂能够大幅度提高铜铟镓硒薄膜电池的转换效率。
专利(CN 114411103 A) [16] 公开了一种大尺寸钼靶材的制备方法。 其方案具有以下优点:(1) 采用“氨溶 + 阳离子交换” 对原料粉末进行针对性提纯,可有效去除碱性金属(如 K、Na 等) 和过渡族金属杂质(如 Fe、Ni 等);(2)通过“预锻 + 交叉轧制 +高温退火” 的工艺设计,有利于获得微观组织均匀可控、晶粒细小、晶粒取向分布均匀的靶材;(3) 通
过表面化学腐蚀解决了传统轧制存在的变形不均匀问题。
专利(CN 114318256 A) [17] 公开了大尺寸钼溅射靶材及采用化学气相沉积法的制备工艺。 具体为:通过钼与三氟化氮反应制备出粗品六氟化钼,随后经真空蒸馏法和吸附法提纯得到高纯度六氟化钼,再在还原气氛下,经过化学气相沉积在基体材料上沉 积 金 属 钼。 该 方 法 所 制 备 靶 材 纯 度 高(99.999 9% 以上),致密度高(不低于 99.5% );此外,该方法在化学气相沉积设备中一步完成,产品一致性优于传统钼靶材,且可用于生产直径 500 mm以上的大尺寸钼靶材。
专利(CN 105648407 B) [18] 公开了一种高致密度钼铌合金靶材的制备工艺。 以钼粉为原料,添加5% ~ 15% (质量分数)铌粉、0.1% ~ 0.8% (质量分数)氢化锆进行混合,经过冷等静压成型,再进行真空烧结。 该发明的特点在于利用氢化锆的活化作用,通过粉末冶金直接制备高致密钼铌合金靶材。
专利(CN 10943990 A) [19] 利用氢化铌的活化作用,采用粉末冶金工艺制备高致密度、高含量钼铌合金溅射靶材。 专利(CN 110257784 A) [20] 同样采用粒度更小、表面积更大的氢化铌替代铌粉,提高扩散速率及烧结致密度,同时氢化铌分解释放的氢气具有还原作用,可降低钼铌合金中的氧含量,提高靶材纯度。
专利(CN 105568236 B) [21]发明了一种高纯、高致密、大尺寸 MoTi 合金溅射靶材的制备方法。 将钼和氢化钛原料在氩气气氛下进行混合并采用冷等静压压制成型,随后在真空烧结炉中进行两段烧结,轧制、退火、机械加工获得成分均匀、无偏析且晶粒尺寸小的靶材。
专利(CN 106513664 B) [22] 采用钼酸钾为原料制备钼钾合金靶材,避免了杂质的引入,所制备靶材密度高、成分均匀,镀膜效果好。高世代钼靶材对靶材纯度、晶粒尺寸、致密度提
出更高的要求,常规方法生产成本高、成品率低。 基于此,专利(CN 108642457 B) [23]公开了一种方法简单、生产成本低、成品率高、利于工业化生产的高世代钼靶材的制备方法。 具体为:将两种不同粒径的钼粉在真空下混合后过筛,进行等静压处理,再烧结、热轧、真空退火。 该方法制得靶材致密度超过99.5% ,靶材内部无气孔、裂纹、分层、夹杂等缺陷,靶材表面粗糙度小于 0.6 μm, 平均晶粒不 超 过80 μm。
相比平面靶材,管状钼合金溅射靶材利用率更高(理论上可达 70% ),得到国内外的广泛研究和应用。 专利(CN 110158042 B) [24] 先通过制备大颗粒钼铌粉体,提高粉体成型时的流动性,同时采用粗细粉体级配的方式提高松装密度,从而制得成分均匀、无偏析、晶粒细小( 小于 50 μm) 的钼铌合金旋转靶材。
专利(CN 114231940 A) [25] 将六羰基钼颗粒在高纯氢气和氩气气氛中加热到 40 ~ 60 ℃使其气化,再利用化学气相沉积法在预热基体材料上进行沉积,从而制得钼溅射靶材。 其优势在于成膜速度和成膜质量可以通过控制气体流速、流向进行调控,同时调整沉积时间、沉积基板材质、形状和尺寸,可以沉积不同厚度、不同尺寸、不同形状的钼靶材或钼靶材坯料,且由于沉积温度低,不会产生污染废气。
专利(CN 111254396 A) [26] 公开了一种钼钨合金靶材的制备方法。 其特点在于以钼粉、钨粉、三氧化钨粉体作为原料,利用三氧化钨与氢气反应得到烧结活性更高的新鲜钨粉,提高烧结致密化,减少缺陷,提升靶材品质。
钨钼因密度差异大易造成组织出现偏析,影响靶材组织均匀性,且热轧法制得靶材通常具有取向性,热等静压技术成本较高并增加了工艺复杂性。
专利(CN 111893442 B) [27]针对以上问题,提出了一种钨钼溅射靶材制备方法。 其特点在于:(1) 使用密度与 Mo 更接近的三氧化钨替代钨,在氢气气氛下两次高温处理原位还原得到均匀混合的钼钨混合粉体,提高靶材烧结均匀性;(2)通过高能球磨细化粉体,提高粉体烧结活性,获得高致密性的坯体;(3)采用冷等静压成型并进行预烧,促进易挥发非金属元素(如氧)的脱除。
专利(CN 111534800 B) [28] 将高纯的钼粉和铌粉进行压制,并在氢气下预烧,降低钼铌中的氧含量和杂质,基于所制备的高纯度、低含氧量、高振实密度钼铌合金粉末,提出了一种热等静压制备大尺寸钼铌平面靶材的方法。
专利(CN 106567047 A) [29] 采用氮化硼和石墨的组合模具热压制备钼铌合金,有效阻止了渗碳现象,获得了高致密度、高纯、微观组织可控的钼铌合金靶材。
1.2 混粉工艺优化
专利(CN 102337418 B) [30] 针对传统等静压结合烧结工艺制备钼铌合金烧结致密度不足、满足溅射靶材要求问题,提供了一种工艺简单、易实现工业化生产的钼铌合金板的制备方法,所制备靶材密度不低于 9.85 g / cm3。 该发明的特点在于采用振动压制方式对混合得到的钼铌合金粉体进行压坯,振动频率为 2 000 ~6 000 Hz,压制力为 10 ~30 MPa,
保压时间为 30 ~ 60 s;随后在 1 900 ~ 2 100 ℃ 真空烧结 6 ~ 10 h。
专利(CN 105887027 B) [31]在混合钼、铌粉体时加入过程控制剂(硬脂酸锌、棕榈酸、硬脂酸乙酯、聚乙烯醇和硬脂酸中的一种或几种),在球磨过程中过程控制剂能够包覆在金属粉末表面,形成一层润滑薄膜,降低粉末表面能,减少了粉末间的冷焊,从而解决了粉末粘球和粘罐问题,同时缩短了球磨时间。
溅射靶材的晶粒均匀性在很大程度上影响着薄膜质量和电子元器件性能。 因为靶材不同区域晶粒尺寸的差异会引起溅射速度的差异,进而造成薄膜厚度不均匀。 因此,如何提高溅射靶材晶粒均匀性是平 面 显 示 领 域 面 临 的 关 键 难 题。 专 利 ( CN109355632 B) [32]提出了一种提高溅射镀膜用钼及钼合金溅射靶材晶粒均匀性的方法。 其特点在于:
采用球磨—分级联合处理减少钼粉还原过程中的硬团聚,从而坯体烧结的微观晶粒均匀性以及溅射镀膜微观和整体均匀性。
专利(CN 103255379 A) [4] 基于 MoW 合金导电性好、抗氧化且膜应力低等优点,提出了一种 MoW合金平面溅射靶材的制备方法,克服了现有方法制得成分均匀、无偏析、晶粒细小靶材的难点。 该发明的特点之一在于采用机械合金化技术实现钼和钨原子级别的混合,在固态下实现了合金化,显著提高了 MoW 的活性,降低了 MoW 的烧结温度,从而提高了合金致密度、降低了晶粒尺寸。 类似地,专利(CN 105154740 A) [33] 公开了一种机械合金化制备铌钼靶材的方法。
专利(CN 108374152 B) [34] 通过机械混合使钼粉均匀渗入海绵钛孔隙中以确保钼粉不发生泄漏,同时在真空自耗电弧熔炼炉中进行熔炼,促使合金铸锭成分均匀化,从而制备出 100% 致密的、成分均匀的 钼 钛 合 金 溅 射 靶 材。 类 似 地, 专 利 ( CN109811318 A) [35]以溅射法生产的 99.9% 纯度的钼合金为原料,采用电子束冷床熔炼工艺制备纯度大
于 99.98% 的钼溅射靶材。
专利(CN 102321871 B) [36] 发明了一种热等静压生产平板显示器用钼合金溅射靶材的方法。 将低氧含量的钼粉与添加的金属粉末(铌粉或钽粉) 在惰性气氛保护下进行混合造粒、过筛,液压成型制成靶坯,随后经冷等静压提高均一性,再热等静压烧结(压力 200 ~ 300 MPa,温度 1 200 ℃)。 该发明生产周期短、工序少、能耗低,所制备钼合金靶材致密度高、均匀性好、性能。
专利(CN 107916405 A) [37] 通过改进混粉工艺严格控制杂质的引入,提出了一种高密度、晶粒细且均匀的钼钽合金溅射靶材的制备方法。 该发明能够靶材吸氢脆化,提高靶材加工性能。 其特点在于:对钼粉和钽粉进行真空预烧处理,去除了粉体中的氢、氧及低熔点物质;在粉体混合时采用氩气保护减少杂质的混入;选择钼球替代钢球进行球磨,减少铁杂质的掺入。
1.3 轧制工艺和烧结方法
大尺寸钼板由于坯料重量及尺寸规格较大,制备中存在两个问题:一是在常规尺寸氢气炉中加热,二是直接加热轧制时钼坯降温严重,容易出现轧制开裂的现象。 专利(CN 102534519 B) [38] 针对上述问题提出了一种 LCD 平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法。 采用涂刷抗氧化涂层(玻璃粉、水玻璃、水按质量比 8 ~ 10∶ 1∶ 8 ~ 10 混合)和钢包套包覆的方式缓解加热和轧制时的氧化问题及坯料降温严重导致的开裂问题,并在次轧制后通过冷却抑制组织不均匀长大和再结晶,制备出尺寸均匀的等轴晶组织。
专利(CN 114411103 A) [39] 公开了一种大尺寸钼靶材及其制备方法,所述制作方法包括如下步骤:行粉体装模,随后进行冷等静压,再经过烧结,并采用一火二道次轧制法进行热轧处理,进行校平、热处理、机械加工和清洗,制得大尺寸钼靶材。
该方法采用一火二道次轧制法,有效了钼靶因持续高温造成的晶粒异常长大,制得的大尺寸钼靶材可以用于高世代线平板显示器。
专利(CN 112609162 A) [40] 公开了一种 LCD 钼靶材及其轧制方法。 采用三个火次进行轧制,避免了钼靶坯在轧制过程中发生板面绕曲及开裂现象,降低了操作难度,提高了成材率。 所制备靶材纯度达到 99.95% 以 上, 平 面 度 ≤1.3 mm, 致 密 度 超过 97% 。
纯 Mo 中引入置换固溶元素 Ti 形成 MoTi 固溶体,可改善钼的低温塑性并提高钼的再结晶温度。但 MoTi 合金多采用热等静压或热压烧结制备,对设备要求严格,限制了产品规格尺寸。 基于此,专利(CN 104532201 A) [41]提出了一种 MoTi 合金溅射靶材的制备方法。 将钼粉和钛粉在氩气中进行混料,随后冷等静压成靶坯,在氦气气氛下烧结。
G6 世代线以上的 TFT - LCD 产线主要使用长条型的钼靶。 通过多次轧制获得长条形钼靶材的生产效率不高,而热挤压方法制备的钼靶晶粒较大,致密度 满 足 使 用 要 求。 专 利 ( CN 111647860B) [42]将钼粉装入胶套进行冷等静压成型获得坯体,并在氢气氛围下烧结,再进行热挤压,退火、校平、机加工得到长条型钼靶。
专利(CN 111850495 B) [43] 采用阶段升温的烧结方式,通过控制升温速率,促使钼靶材致密化、均匀化。 该发明制备钼靶材晶粒尺寸小、纯度高( ≥99.97% )、致密度高(≥99.9% )。
专利(CN 110777343 A) [44] 在真空下采用微波烧结将钼生坯烧结成钼板坯,并通过电子束熔炼进行提纯,解决了传统方法烧结时间长、烧结温度高、晶粒粗大、杂质含量高、能耗高的问题。 所制备靶材晶粒细小均匀,具有一定的结晶取向,性能优良。
专利(CN 111230096 A) [45]将混粉工艺、脱气工艺和热等静压烧结工艺相互配合,致力于改善合金靶材的致密度。 该发明制得的铬钼靶材晶粒尺寸细小,致密度在 99% 以上,同时此工艺可有效保障产品不受外界氧化,确保产品纯度。
热等静压烧结制造的 Mo - Ni - Ti 合金靶材存在部硬度不均匀的部位,其中部硬度低的部位在机械加工时易变形,产生裂纹、缺损、脱落等问题;部硬度高的部位将造成切削刀具磨损,引起靶材表面粗糙度变大,导致溅射时异常放电。 基于此,专利(CN 111719125 A) [46] 提出了一种 Mo 合金靶材的制备方法,通过对混合粉体(Mo、NiMo、Ti 粉末)常温加压成型再加压烧结,并调整 Mo 合金靶材中Ni 和 Ti 的添加量,实现对 Mo 合金靶材维氏硬度的调节(340 ~ 450 HV),抑制机加时的靶材变形以及溅射时的异常放电。
专利(CN 104073771 A) [47] 将冷等静压制得的靶坯密封在真空石英管中进行烧结,采用多段升温,使 PVA 粘结剂充分挥发,制得钠掺杂钼合金靶材。
专利(CN 105714253 B) [48] 将钢膜和橡胶板结合进行冷等静压成型,解决了密封问题,克服了传统冷等静压压坯尺寸精度差的问题,并据此提出了一种大尺寸、细晶钼钽合金溅射靶材的制备方法。 该方法用于生产致密度大于 97% 的大尺寸靶材(长度2 m 左右,宽度 1.3 m 左右)。
1.4 其 他
专利(CN 105525260 A) [49] 公开了一种 Mo 靶坯和 Mo 靶材的制作方法,即对预压 Mo 粉进行脱气处理得到 Mo 靶坯,再进行热等静压获得 Mo 靶材(温度 1 300 ~ 1 400 ℃,压力大于 150 ~ 200 MPa,保压时间 3 ~ 6 h),克服了热压烧结中 Mo 靶材尺寸对模具尺寸和强度的依赖及单轴加压造成的 Mo 靶材内部组织不均匀问题。
随着智能手机和平板终端向柔性化发展,具有轻量、耐冲击和不易破碎等性质的树脂膜已被用于制造柔性 FPD。 但相比玻璃基板,树脂基板具有透湿性(高温高湿环境会导致布线膜的电阻发生变化),且通常在基板上形成层叠布线膜后,层叠布线膜不可避免地接触大气,这就要求层叠布线膜具有更高的耐湿性和耐氧化性。
专利(CN 102956158 A) [50]提出一种电子部件用层叠布线膜以及覆盖层形成用溅射靶材。 即在 Mo 中添加一定量的 Ni 和 Ti,制得Mo100 - x - yNixTiy(10≤x≤30,3≤y≤20)覆盖层,用于覆盖以 Al 为主要成分的主导电层。 Ni 的添加可提高覆盖层的耐氧化性,改善纯 Mo 在大气中加热后的氧化变及电接触性恶化问题。 Ti 易与氧结合形成钝化膜,进一步提高其耐湿性,起到保护布线膜的作用。 同时该专利指出,通过控制 Ni 和 Ti 添加量,可确保加热工序中该覆盖层在与 Al 层叠时仍维持低电阻值。
专利(CN 114293160 A) [51] 以 Mo 为基体,提出了一种三元、四元钼合金靶材制备方法。 其中掺杂元素包含 0.5% ~ 40% (原子数分数) Ti 以及 0.5%~ 40% (原子数分数)的 Ga、Ni、Nd 中的至少一种元素。 所制得多元钼合金靶材相比二元合金 Mo 靶材,具有的耐氧化性、耐湿性、耐高温性能。 此外,低表面张力金属元素的掺杂改善了刻蚀性能。
专利( CN 109207941 A) [52] 提出了一种 MoNb合金靶材的制备方法(其中 Nb 的原子占比为 5% ~30% ),能够解决布线薄膜、电薄膜的基底膜与覆盖膜上出现的高电阻问题以及高成膜速度时靶材表面粗糙度变大问题,从而改善 TFT 性能稳定性。 其制备过程为:将 Mo 粉(平均粒径 4 μm)和 Nb 粉(平均粒径 35 ~ 115 μm)通过交叉旋转混合机进行混合
得到 10% Nb(原子数分数) 的混合粉体,随后填充至软钢制的加压容器中,并在 450 ℃下真空脱气、密封,然后在1250 ℃、145 MPa 热等静压处理 10 h 得到烧结体, 经机械加工和研磨后制作成直径180mm、厚度5mm的靶材。
钼镍铜多元合金薄膜不仅具有良好的热电和机械性能,而且气密性好、 不易潮解。 专利 ( CN110670032 B) [53]公开了一种钼镍铜多元合金靶材的制备方法。 该方法通过添加镍和铜降低钼合金熔点,借助烧结工艺参数调控解决了 3 种金属粉末熔点相差大导致的难烧结问题。 所制备钼镍铜合金靶材气密性好、耐湿耐潮、密度高、纯度高。
专利(CN 113319539 B) [54] 提供了一种大尺寸面板钼靶的制备方法。 具体步骤为:将靶材及背板进行粗铣和精铣,然后将靶材与背板进行钎焊,然后进行校正、烘干、抛光以及喷砂处理。 该方法提高了钼靶与背板的结合率,提高了产品的合格率,减少了资源浪费。
专利(CN 103154306 A) [55] 涉及一种含钼靶材制备方法,包含二元合金( MoTi)、三元合金( MoTi中加入 Ta 或 Cr 作为第三主金属元素)。 其具体步骤为:将钼粉、钛粉和钽粉(或铬粉) 按一定比例在V 型混料机中混合约 20 min,在 23 ℃ 条件下,通过单向压制法( 压力约 470 MPa) 压实得到直径约95 mm 的颗粒,将压制颗粒封装在低碳钢罐内进行热等静压处理(120 MPa,1 325 ℃,4 h),将热等静压后的材料加工成直径约 58.4 mm、厚度约 6.4 mm的靶材。 该发明制得的靶材在较低刻蚀速率下具有一定的优势,且溅射得到的薄膜对基材有较强的粘附性及低的电阻率。
2、 结 论
基于对上述专利的分析可以看出,钼及钼合金溅射靶材的制备主要采用粉末冶金技术,需要经过粉末混合、压制成型、烧结、压力加工和机加工等多道工序。 制备高质量的钼合金溅射靶材往往需要进行压制和烧结、多道次的轧制与反复的热处理。 由于热等静压或热压烧结设备规格有限,限制了产品的尺寸规格。 因此,开发一种方法简单、成本低、成品率高且利于工业化生产的高品质大尺寸钼合金溅射靶材制备方法具有重要的意义。 此外,目前 Mo 合金靶材中主要添加元素有 Nb、Ti、Ta、W 等,鉴于每种掺杂元素的作用和性能各不相同,而三元及多元钼合金靶材的研究和应用还不够全面,因此针对不同应用领域对钼合金薄膜性能的不同需求,通过成分设计与微观组织调控开发出新型组分钼合金靶材将是一个重要的发展方向。
废钼回收的环保意义与政策支持
钼矿开采伴生重金属污染和生态破坏,而废钼回收可大幅减少环境负荷。每回收1万吨废钼,相当于减少30万吨矿石开采和10万吨二氧化碳排放。全球多国通过政策鼓励回收:欧盟将钼列为关键原材料,要求成员国提高回收率;中国《“十四五”循环经济发展规划》明确支持稀有金属再生利用。企业若通过ISO 14001认证或采用清洁生产技术(如废酸循环利用),还可获得税收优惠,进一步强化环保与经济的双赢。
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为了钼精矿质量,有时需要进一步分离钼精矿中所含的铜、铅、铁等重金属矿物和氧化钙以及炭质矿物,如使用硫化钠、硫氢化钠、氰化物或铁氰化物抑制铜和杂质含量。钼精矿冶炼主要采用以下几种方法:
氧化焙烧:将辉钼矿进行焙烧得到钼焙砂,然后通过升华法或湿法制得三氧化钼,用氨浸出时生成钼酸铵进入溶液,与不溶物加以分离。溶液经浓缩结晶得到钼酸铵晶体,或加酸酸化生成钼酸沉淀,从而与可溶性杂质分离。二者经煅烧后都生成纯净的三氧化钼,然后用氢还原法生产金属钼。根据焙烧设备或添加组分的不同,可将该方法分为回转窑焙烧工艺、反射炉焙烧工艺、多膛炉焙烧工艺、流化床焙烧工艺、闪速炉焙烧工艺。该方法会产生大量的烟气,污染环境,钼回收率较低,伴生的稀有元素铼几乎随着烟气跑掉,不适合处理低品位矿石和复杂矿。
硝酸浸出法:在高压釜内使MOS2氧化为可溶性钼酸盐,该方法主要是消耗廉价的氧化剂-空气或纯氧。该方法需要高温高压,对反应设备要求高,反应条件,生产技术难度大,浸出过程的工艺条件也较难控制,生产过程中也存在一定的隐患,目前国内已暂停使用该方法。
次氯酸钠浸出法:主要用于处理低品味中矿、尾矿的浸出。在氧化浸出过程中,次氯酸钠本身也会缓慢分解析出氧,其他一些金属硫化物也会被次氯酸钠氧化,这些金属的离子货氢氧化物又会与钼酸根生产钼酸盐沉淀,促进溶液的钼又返回到渣中。该方法反应条件温和,生产易于控制,对设备要求不高,但原料次氯酸钠消耗量大而造成生产成本过高。
电氧化浸出法:是由次氯酸钠法改进而来,该方法是将已经浆化的辉钼矿物料加入到装有氯化钠溶液的电解槽中,在电氧化过程中,阳产物Cl2又与水反应,生产次氯酸根,次氯酸根再氧化矿物中的硫化钼,使钼以钼酸根形态进入溶液中。该方法继承了次氯酸钠浸出率高、反应条件温和、的特点,并且能够较为方便的控制、调节反应的方向、限度、速率。
目前也出现了一些新方法,如辉钼矿精矿不经氧化焙烧,直接用氧压煮法或细菌浸出法提取纯三氧化钼。对低品位氧化矿用硫酸浸出,从溶液中用离子交换法或萃取法提取纯三氧化钼。
战略性工业原料一般指的是锑、钨、锌、钼、焦煤、磷和滑石等可用于不锈钢、半导体、飞机及其他产品制造的原料。
中国地大物博资源,很多矿产资源在世界排名独占鳌头。比如稀土,在目前已探明的稀土储量中,我国仍居,约占世界总储量21000万吨的43%。中国的稀土产量占总产量的近三分之二,1999年,中国出口稀土50000吨,国内消费16000吨,两项合计66000吨,当年消费稀土75000吨。因此,中国为世界提供了所需稀土的88%,而中国的稀土主要来源于包头。稀土在国防科研领域广泛的应用价值。建议国家应该对这样战略性矿产资源严格保护。不要让白菜价重演了。
战略性工业原料一般指的是锑、钨、锌、钼、焦煤、磷和滑石等可用于不锈钢、半导体、飞机及其他产品制造的原料。
1、钨都:江西大余
大余县位于江西省南部,赣江西源章水上游。面积1368平方公里,人口24.3万。该县历史悠久,秦代属南埜县地,隋属南康县,唐置大庾县。宋后历为南安军、路、府治。1957年改为大余县。因地处大庾岭北麓而得名。大余县钨矿资源富,素有“钨都”之称,是我国大的钨矿基地。
用途:钨,金属元素,硬而脆的结晶,耐高温,用途广泛,是钢铁、电器、化工和国防工业的重要原料,在近年来,钨在尖端科技领域内更加显示出它的重要作用。我国是钨矿储量和产量多的国家,有“产钨王国”之称。据1977年有关资料明,在世界钨的储量中,中国居首,约占53.6%。
2、锡都:云南个旧
、精锡纯度高而闻名国内外,享有“锡都”美誉。新中国建立后,累计生产有金属192万吨,其中锡92万吨,约占全国锡产量的70%以上。是全国大的锡现代化生产加工基地。
用途:锡在冶金工业中主要用于生产镀锡板(马口铁)和各种合金。镀锡板是锡的主要消费领域,约占锡的消费量的40%左右,它可以用作食品和饮料的容器、各种包装材料、家庭用具和干电池外壳等。锡在化工方面主要用于生产锡的化合物和化学试剂。锡的有机化合物主要用作木材防腐剂、农等,锡的无机化合物主要用作催化剂、稳定剂、添加剂和陶瓷工业的乳化剂。
3、锌都:云南兰坪
兰坪的矿藏资源得天独厚,早已名扬中外。目前已探明和发现的矿藏有铅、锌、铜、银、盐、锶、汞、锑、硫、铁、石膏、云母、叶腊石、冰洲石、水晶石等十多种矿,150多个矿床点。其中金顶凤凰山特大型铅锌矿,以储量大,品位高,成矿集中,易开采等特点,荣居全国之首世界之二,储量达1429万金属吨,潜在价值可达2000多亿元。
用途:锌具有良好的压延性、抗腐性和耐磨性,是10种常用有金属中第三个重要的有金属,目前,锌在有金属的消费中仅次于铜和铝,广泛应用于有、冶金、建材、轻工、机电、化工、汽车、军工、煤炭和石油等行业和部门。
4、镍都:甘肃金昌
金昌镍矿位于甘肃省河西走廊永昌县城北。龙首山矿床是一个世界罕见的以镍为主的有金属共生矿,蕴藏着的硫化镍和铜、钴、金、银以及铂族金属。60年代金昌镍矿投产后,结束了我国不产镍的历史,使我国跃为世界镍矿资源多国家之一。现在金昌镍矿已建成一个采、选、炼综合经营的大型联合企业,能直接从矿石中提取十余种产品,其中镍和铂族金属产量分别占全国总量的85%和90%以上。金昌已成为我国大的镍生产基地,铜、钴、金、银和铂族金属提炼中心,并有“中国镍都”之称。
5、锑都:湖南冷水江
明朝末年(1541年)发现了世界大的锑矿产地——湖南锡矿山,但当时把锑误认为锡,故锡矿山以此得名,至清·光绪16年(1890)经化验始知是锑。光绪23年(1897),创办“积善”厂,为锡矿山早的锑炼厂,使我国的“连锡”转入锑生产的时代。1908年湖南华昌公司从法国引进挥发焙烧法,开始用此法炼锑。随着机械制造业的兴起,锑的用途和需求量扩大,继开发锡矿山之后又先后开发了湖南桃江板溪、新邵龙山、桃源沃溪等地锑矿,使湖南锑业居全国之首。接着,黔、滇、桂等省区也相继开采一些锑矿。从1908年以后数十年间,中国产锑量常占世界总产量50%以上,仅就锡矿山自1912~1935年间的锑品产量占世界产量的36.6%,占全国的60.9%。
用途:锑是一种银灰的金属,在常温下是一种耐酸物质,其比重6.68、熔点630.5℃、沸点1590℃,性脆,无延展性,是电和热的不良导体,在常温下不易氧化,有抗腐蚀性能。锑在合金中的主要作用是增加硬度,常被称为金属或合金的硬化剂。锑及锑化合物首先使用于耐磨合金、印刷铅字合金及工业。随着科学技术的发展,现在已被广泛用于生产各种阻燃剂、搪瓷、玻璃、橡胶、涂料、颜料、陶瓷、塑料、半导体元件、烟花、医及化工等部门产品。
6、钼都:河南栾川县
中国钼矿资源,截止1999年底中国钼金属总储量为833.6万吨,居世界第2位。我国年产近3万吨金属钼,也居世界第2。钼矿有产地222处,分布于28个省(区、市)。主要是吉林大黑山;辽宁省杨家杖子、兰家沟;陕西省金堆城;河南省栾川等钼矿。以河南省钼矿资源为,钼储量占全国总储量的30.1%。
用途:纯钼丝用于高温电炉和电火花加工还有线切割加工;钼片用来制造无线电器材和X射线器材;钼耐高温烧蚀,主要用于火炮内膛、火箭喷口、电灯泡钨丝支架的制造。合金钢中加钼可以提高弹性限、抗腐蚀性能以及保持永久磁。
7、焦煤:黑龙江七台河
七台河市位于黑龙江省东部,总面积6221平方公里。现辖桃山区、新兴区、茄子河区及勃利县21个乡镇,人口86万。七台河市物产,探明金属、非金属矿藏30多种,其中煤炭是全国三大保护性开采煤田之一,已探明储量52.6亿吨,保有储量17亿吨,成为国家重要的主焦煤生产基地和东北地区大的无烟煤生产基地。
8、磷都: 云南晋宁县
晋宁县以其境内拥有储量大(探明储量8亿吨)、埋藏浅、矿体集中、质量优良、加工性能好、易于开采的磷矿石资源驰名于世,享有“中国磷都”之称。
用途:磷矿又是重要的化工矿物原料。部分磷矿用于制取纯磷(黄磷、赤磷)和化工原料,少量用作动物饲料。赤磷用于制造火柴和磷化物。黄磷有剧毒,可制农,还可以制燃烧弹、曳光弹、信号弹、烟幕弹、发火剂;磷与硼、铟、镓的磷化物用于半导体工业。冶金工业中用于炼制磷青铜、含磷生铁、铸铁等。磷酸锆、磷酸钛、磷酸硅等可作涂料、颜料、粘结剂、离子交换剂、吸附剂等。磷酸钠、磷酸氢二钠用于净化锅炉用水。后者还可制人造丝。六聚偏磷酸钠可作水的软化剂和金属防腐剂,磷酸钙盐用于动物饲料添加剂,磷的衍生物用于医。磷酸二氢铝胶材料耐火度高、耐冲击性好、耐腐蚀性强、电性能,用于尖端技术中。氟磷灰石晶体是理想的激光发射材料,磷酸盐玻璃激光器已得到应用。
9、滑石:辽宁鞍山
鞍山境内已探明的矿产资源有51种。铁矿,探明储量100亿吨,占全国的四分之一。菱镁矿,探明储量23亿吨,占全国的80%,占世界储量的四分之一。滑石矿,探明储量为6000万吨,占全国的40%。岫玉,探明储量约206万吨,占世界的60%,被确定为中国“国石”候选石,2006年12月,岫岩县被中国矿业协会命名为“中国玉都”。
用途:滑石是一种常见的硅酸盐矿物,它软并且具有滑腻的手感。人们曾选出10个矿物来表示10个硬度级别,称为摩斯硬度,在这10个级别中,个(也就是软的一个)就是滑石。柔软的滑石可以代替粉笔画出白的痕迹。滑石一般呈块状、叶片状、纤维状或放射状,颜为白、灰白,并且会因含有其他杂质而带各种颜。滑石的用途很多,如作耐火材料、造纸、橡胶的填料、缘材料、润滑剂、农吸收剂、皮革涂料、化妆材料及雕刻用料等等。
10、稀土:内蒙古包头
世界的稀土来自于东方,东方的稀土来自于中国,中国的稀土产自包头。包头稀土储量占世界稀土总量的76%,使中国成为世界上对的“稀土大国”。包头也是世界稀土产业中心。稀土就在白云鄂博。“白云鄂博”蒙古语意为“富神之山”。
中国稀土占据着几个世界:储量占世界总储量的,尤其是在军事领域拥有重要意义且相对短缺的中重稀土;生产规模,2005年中国稀土产量占全世界的96%;出口量世界,中国产量的60%用于出口,出口量占贸易的63%以上,而且中国是世界上惟一大量供应不同等级、不同品种稀土产品的国家。可以说,中国是在敞开了门不计成本地向世界供应。据国家的报告,中国的稀土冶炼分离年生产能力20万吨,超过世界年需求量的一倍。
钼简介:密度10.2克/立方厘米。熔点2610℃。沸点5560℃。化合价+2、+4和+6,稳定价为+6。钼是一种过渡元素,易改变其氧化状态,在体内的氧化还原反应中起着传递电子的作用。在氧化的形式下,钼很可能是处于+6价状态。
虽然在电子转移期间它也很可能首先还原为+5价状态,但是在还原后的酶中也曾发现过钼的其他氧化状态。钼是黄嘌呤氧化酶/脱氢酶、醛氧化酶和亚硫酸盐氧化酶的组成成分,从而确知其为人体及动植物的微量元素。
钼的发现过程:
1782年,瑞典的埃尔姆,用亚麻子油调过的木炭和钼酸混合物密闭灼烧,而得到钼。
1953年确知钼为人体及动植物的微量元素。主要矿物是辉钼矿[1](MoS2)。
天然辉钼矿MoS是一种软的黑矿物,外型和石墨相似。18世纪末以前,欧洲市场上两者都以 “molybdenite”名称出售。
1779年,舍勒指出石墨与molybdenite(辉钼矿)是两种不同的物质。他发现硝酸对石墨没有影响,而与辉钼矿反应,获得一种白垩状的白粉末,将它与碱溶液共同煮沸,结晶析出一种盐。他认为这种白粉末是一种金属氧化物,用木炭混合后强热,没有获得金属,但与硫共热后却得到原来的辉钼矿。
1782年,瑞典一家矿场主埃尔摩从辉钼矿中分离出金属,命名为molybdenum,元素符号定为Mo。我们译成钼。它得到贝齐里乌斯等人的承认。
钼-99是钼的放射性同位素之一,他在医院里用于制备锝-99。锝-99是一种放射性同位素,病人服用后可用于内脏器官造影。用于该种用途的钼-99通常用氧化铝粉吸收后存储在相对较小的容器中。当钼-99衰变时生成锝-99,在需要时可把锝 -99从容器中取出发给病人。
钼的主要用途:钼主要用于钢铁工业,其中的大部分是以工业氧化钼压块后直接用于炼钢或铸铁,少部分熔炼成钼铁后再用于炼钢。低合金钢中的钼含量不大于1%,但这方面的消费却占钼总消费量的50%左右。不锈钢中加入钼,能改善钢的耐腐蚀性。
在铸铁中加入钼,能提高铁的强度和耐磨性能。含钼18%的镍基超合金具有熔点高、密度低和热胀系数小等特性,用于制造航空和航天的各种高温部件。金属钼在电子管、晶体管和整流器等电子器件方面得到广泛应用。氧化钼和钼酸盐是化学和石油工业中的优良催化剂。二硫化钼是一种重要的润滑剂,用于航天和机械工业部门。钼是植物所的微量元素之一,在农业上用作微量元素化肥。
纯钼丝用于高温电炉和电火花加工还有线切割加工;钼片用来制造无线电器材和X射线器材;钼耐高温烧蚀,主要用于火炮内膛、火箭喷口、电灯泡钨丝支架的制造。合金钢中加钼可以提高弹性限、抗腐蚀性能以及保持永久磁性等,钼是植物生长和发育中所需七种微量营养元素中的一种,没有它,植物就无法生存。动物和鱼类与植物一样,同样需要钼。
各县(市)、区人民政府,市经济技术开发区管委会,市各委、办、,市各直属单位:
近年来,全市上下深入贯彻落实党的十八大和十八届二中、三中全会精神,紧紧围绕“科技兴市”战略,注重发挥科技人员的积性和创造性,鼓励科技人员进行理论和实践,取得了较好成绩。2011~2012年,全市科技人员结合南通实际,撰写并在省级以上刊物发表了一大批自然科学方面的学术论文,为推进科技工程作出了积贡献。经南通市自然科学学术论文评审委员会认真评审,并向社会公示,共评出第八届自然科学优秀学术论文120篇,现予公布。
希望各地、各部门、各单位和全市广大科技工作者牢固树立科学发展理念,勇于承担历史使命,以饱满的工作热情,积推动科技进步,不断创造新业绩,为南通加快建设北翼经济中心提供坚实的科技保障。
附件:南通市第八届自然科学优秀学术论文获奖名单
南通市人民政府
2014年1月2日
附件
南通市第八届自然科学优秀学术论文获奖名单
(共120篇)
一等奖名单(12篇)
1.Protease and transglutaminase application for wool anti-felting finishing (蛋白酶和转谷氨酰胺酶在羊毛抗毡缩整理中的应用)
张瑞萍、蔡再生(南通大学)
2.量子点修饰碳胶电在纸基上的电致化学发光
史传国、单 霞、潘忠芹(南通大学)
3.基于K2树的大规模网络图数据存储优化方法研究
施 佺、肖仰华、聂贝斯(南通大学)
4.拟爱因斯坦度量的刚性研究
王林峰(南通大学)
5.认知用户配对与协作感知算法研究
包志华、张、张晓格(南通大学)
6.基于全优化的南通市水资源优化配置研究
辛鹏磊、陈建标(南通市水文)
7.Analysis of pituitary specific transcription factor-1 gene polymorphism in several indigenous Chinese cattle and crossbred cattle(中国几种地方牛种和牛种垂体特异性转录因子1基因多态性研究)
严林俊(南通农业职业技术学院)
8.体外构建基于丝素导管的神经等价物及将该组织工程化神经用于修复坐骨神经缺损
汤 欣、薛成斌、王亚先(南通大学)
9.NO/cGMP/PKG信号通路参与二苯乙烯苷抑制平滑肌的机制研究
许晓乐、张 伟(南通大学)
10.中国农村女性代谢综合征的流行病学研究
蔡 辉(南通大学)、黄建萍(南通市疾病控制中心)、徐广飞(南通大学)
11.尿监控系统的研发与临床应用
王 芳(南通市人民医院)、陈建荣(南通市中医院)、刘经纬(南通市人民医院)
12.BDNF blended chitosan scaffolds for human umbilical cord MSC transplants in traumatic brain injury therapy
施 炜、陈 建(南通大学附属医院)
二等奖名单(24篇)
1.高温胁迫对条斑紫菜突变系圆盘体生长的影响
吕 峰、王小红、陆德祥(南通农业职业技术学院)
2.甲醇气相羰化合成醋酸的反应机理及本征动力学
刘金红、刘志军、黄艳芳(南通职业大学)
3.Research on Kenaf Degumming with Oxidation Process
颜婷婷、顾闻彦、郁崇文(南通大学)
4.基于赌轮选择遗传算法的数据隐藏发布方法
胡新平、贺玉芝、倪巍伟(南通大学)
5.喷射液束电解辅助激光打孔工艺对再铸层和溅射物的控制研究
张 华、徐家文(南通大学)
6.三维分级结构Zn3(OH)2V2O7?H2O与Zn3(VO4)2微米球的制备、表征及荧光性质研究
王 淼、石玉军、江(南通大学)
7.灰旅行时间的区域公交车辆调度模型和算法
魏 明、孙 博、靳文舟(南通大学)
8.基于槽线谐振器的可调/可开关带通滤波器
陈建新、施 金、包志华(南通大学)
9.微型桩芯搅拌桩工程实践与工作机理研究
包 华、邓亚光、 张 慧(南通大学)
10.三维激光扫描应用于古建测绘的关键技术研究
徐亚军、袁小军(南通市测绘院有限公司)、程 亮(南京大学)
11.Sobolev型时滞非部积分微分方程解的存在性
徐小平(南通职业大学)
12.CINRAD/SA雷达中微波器件故障判别
汤建国、周红根、周 良(南通市气象)
13.玉米抗粗缩病自交系种质的发掘和遗传多样性及其在育种中的应用
薛 林、张 丹、徐 亮(江苏沿江地区农业科学研究所)
14.真空渗糖对冷冻菜用大豆部分玻璃化转变温度和硬度的影响
唐明霞、袁春新、陈 惠(江苏沿江地区农业科学研究所)
15.Prognostic significance of FOXP1 as an oncogene in hepatocellular carcinoma
张一心、张素青、王晓冬(南通市肿瘤医院)
16.比较蛋白质组学研究感觉与运动神经差异表达蛋白
贺倩茹、满莉丽、季煜华(南通大学)
17.雪旺氏细胞溶酶体分泌参与神经损伤后髓鞘化过程
陈 罡、张志君、韦中亚(南通大学)
18.大鼠肝星状细胞活化的比较蛋白质组学研究:功能全面解析及免疫应答抑制
季菊玲、郁 枫、季秋虹(南通大学)
19.健忘症模型大鼠前脑胆碱能相关脑区神经再生的研究
张新化、金国华、李伟(南通大学)
20.Free-radical scavenger edaravone treatment confers neuroprotection against traumatic brain injury in rats
王国华、姜正林(南通大学)、李永财(宁夏人民医院)
21.低温中灌肠预防宫颈癌患者放射性直肠损伤的效果
张曦霞、张兰凤(南通市肿瘤医院)、叶 赟(南通大学)
22.Transvaginal color Doppler sonography predicts ovarian interstitial fibrosis and microvascular injury in patients with ovarian endometriotic cysts
刘曼华、邱君君、张忠新(南通市人民医院)
23.Role of small conductance calcium-activated potassium channels expressed in PVN in regulating sympathetic nerve activity and arterial blood pressure in rats
桂 乐(南通大学附属医院)
24.Telescopic technique associated with mucosectomy: a simple and safe anastomosis in pancreaticoduodenectomy
李 鹏、毛勤生(南通大学附属医院)
三等奖名单(84篇)
1.桑树不同季节施用杀虫剂虫螨腈对家蚕的残留毒性调查
佘柳涛、薛卫东、陆 琴(如皋市蚕桑技术指导站)
2.复方利多卡因乳膏治疗激素依赖性皮炎的临床研究
盛国荣、谢 勇(南通市疾病控制中心)
3.基于EKF-RNN算法的抗震棒材性能预报模型研究
顾力平(南通职业大学)
4.公平与效率视阈下的示范性高职院校遴选与建设
管德明(南通职业大学)
5.Mesoporous tungsten oxides as photocatalysts for 02 evolution under irradiation of visible light
黄 徽(南通职业大学)
6.催化氧化法合成草甘膦工艺条件研究
黄艳芳、刘志军、王健伟(南通职业大学)
7.成衣三维记忆与数码拓印艺术染整工艺
顾 鸣、刘素琼、梁惠娥(江苏华艺集团)
8.纯棉特细号高密防羽绒布的织前生产工艺
张国辉(南通职业大学)
9.Synthesis and Characterization of Polyacrylate Sizes Modified by Nano-Microspheres Prepared via Minienulsion Polymerization
金 啸、崔建伟(南通大学)
10.粘胶基碳化织物的制备及工艺优化
季 涛(南通大学)、李 杰(南通醋酸纤维有限公司)、高 强(南通大学)
11.酒石酸锑钾的制备
蒋云霞(南通农业职业技术学院)、钟国清(西南科技大学)
12.The research status of Nafion ternary composite membrane
马 骏(南通农业职业技术学院)、倪红军(南通大学)、苏冬云(南通职业大学)
13.金属材料拉伸试验随不同速率控制模式的改进
张 烨(海门市产品质量监督检验所)
14.滨海地区水泥改良盐渍土强度特性及其机理研究
陈雪峰(如东县交通运输工程质量监督站)
15.浅谈内河通航桥梁桥墩防撞设计
魏东海、施卫东、张兆民(江苏省交通规划设计院南通分院)
16.基于供应链模式下的物流服务外包--以南通港口为例
宋丽霞(南通航运职业技术学院)
17.万能式断路器合闸能量仿真与优化方法研究
丁建波、李 、唐文献(南通航运职业技术学院)
18.南京南站秦淮新河大桥引桥桥面施工技术
李晓平(江苏南通六建集团)
19.Porel 纤维混纺纱的开发实践
赵瑞芝(南通市纺织工业协会)、汪吉艮(江苏大生集团有限公司)
20.电子健康档案云研究
张志美、杨 剑、胡新平(南通大学)
21.基于稳态运行期间的变量测量确定开关磁阻电机的磁链特性
陈海进、景为平(南通大学)
22.稀土-异亮基酸-邻菲咯啉配合物的合成、表征及抗菌活性
商艳芳、葛存旺、尤克非(南通大学)
23.基于{血红蛋白/银纳米粒子}n多层组装膜的PH开关效应
于春梅、季万余、苟莉莉(南通大学)
24.低信噪比环境下基于线性合并的认知无线电频谱检测
张、包志华(南通大学)
25.带有非线性扰动的广义奇摄动系统的鲁棒稳定性
周 磊、陆国平(南通大学)
26.硝酸体系微波消解-偏钼酸铵分光光度法测定固废中总磷方法的研究
沈志群、李 莉、刘琳娟(南通市环境监测中心站)
27.中粳稻施肥体系的研究
陈 斌、丁华萍(海安县土壤肥料技术指导站)、仲卫华(海安县开发区农村工作)
28.南通市探索节水型社会建设实现途径
马 进、丁皛钰(南通市节约用水办公室)
29.3种海洋微藻ω-3脂肪酸去饱和酶基因表达影响因素分析
张跃群、阎生荣、吕 峰(南通农业职业技术学院)
30.江苏近代以来沿海开发的成效与启示
黄志良(南通市水利勘测设计研究院有限公司)
31.施氮量对机插稻主要米质性状的影响
李世峰、刘蓉蓉、张岳芳(南通市作栽站)
32.大粒鲜食蚕豆通蚕鲜7号的选育及应用前景
汪凯华、王学军、缪亚梅(江苏沿江地区农业科学研究所)
33.辐射沙脊群南部浮游动物的生态特征
瑛、王云龙(江苏省海洋水产研究所)、刘培延(东海水产研究所)
34.相似路径热带气旋“米雷”和“梅花”影响南通降水差异及原因分析
李 超、陈爱玉、陈 铁(南通市气象)
35.辣椒新品种通研4号
李 进、张雪峰、胡桂华(南通市蔬菜科学研究所)
36.浅谈现代蚕业
韩益飞(如东县蚕桑指导站)
37.规模猪场粪水制沼产能技术应用
曹亚如(通州区农业委员会)
38.灸疮促发对化脓灸治疗支气管哮喘疗效的影响
沙建梅、邓筱娟、邵志赤(如皋市中医院)
39.食管灰白黏膜内镜病理、增殖凋亡和p53表达及临床意义
陈正言、朱小平、王正栋(如皋市人民医院)
40.High expression of CXCR2 is associated with tumorigenesis, progression, and prognosis of laryngeal squamous cell carcinoma
韩 靓、蒋 斌、吴 浩(南通市肿瘤医院)
41.Meta-Analysis of the Relationship between Common Type 2 Diabetes Risk Gene Variats with Gestational Diabetes Mellitus(妊娠期糖尿病和2型糖尿病基因多态性关系的Meta分析)
茅红艳、李 琴、高蜀君(启东市人民医院)
42.我国新生儿乙肝疫苗免疫后效应概述及相关问题
姚红玉(启东市人民医院)、陈陶阳、曲春枫(启东肝癌防治研究所)
43.肾脏黏液性管状和梭形细胞癌的临床病理特征
宋红杰、马 捷、周航波(海门市人民医院)
44.成年大鼠脊髓损伤后SIAH1的上调
王东林、陆丘惠、邵 蓓(南通大学)
45.中国美沙酮门诊患者HIV和HCV流行水平研究
庄 勋、梁燕鲜(南通大学)
46.延髓背角中趋化因子CCL2和受体CCR2参与三叉神经痛的调节
张志军、董玉林、陆 颖(南通大学)
47.小干扰核糖核酸下调人类乳头瘤18型E6、E7基因及VEGF基因表达对人宫颈癌恶性生物细胞学行为的影响
陈 莉、吴圆圆、王建力(南通大学)
48.p38丝裂原活化蛋白激酶和肝X受体-α介导瘦素对肝星状细胞中固醇调节元件结合蛋白-1C表达的影响
闫坤锋、邓 雄、翟旭光(南通大学)
49.骨髓基质细胞联合壳聚糖导管修复大鼠脊髓全横断损伤
陈 雪、杨 阳、姚 健(南通大学)
50.白介素-6抵抗NMDA导的神经元凋亡的作用及其细胞内信号转导机制
刘 展、邱一华、李 冰(南通大学)
51.茵陈蒿汤保肝作用的血清理学研究
窦志华、罗 琳、候金燕(南通市第三人民医院)
52.补康灵对辐射损伤肺癌小鼠免疫功能影响的观察
张锦林、倪美鑫、蔡 晶(南通市肿瘤医院)
53.某院医务人员高危品认知调查
杨 燕、姜剑飞、崔志明(南通市人民医院)
54.止痒乳膏优选的正交试验研究
丁晓云(南通市第四人民医院)
55.HPLC法测定脑心清胶囊中非法添加氢氯噻嗪
周利贤(南通市品检验所)
56.中国江苏省南通市2010年麻疹N-蛋白基因序列分析
李海波(南通市疾病控制中心)、S.D.Spencer(美国国家癌症学会)、廉丽华(南通市疾病控制中心)
57.老年高血压保护动机问卷的编制及信效度测定
钱湘云、何 炜、耿桂灵(南通市第三人民医院)
58.个体化延续护理在急诊高血压病患者健康教育中的应用
吉云兰、崔秋霞、殷晓红(南通大学附属医院)
59.A sensitive method to quantify human cell-free circulating DNA in blood: Relevance to myocardial infarction screening
景蓉蓉、王惠民、崔 明(南通大学附属医院)
60.Expression of transforming growth factor-β1 (TGF-β1) and E-cadherin in glioma
杨 柳、刘 梅、邓传宗(南通大学附属医院)
61.Allograft tendon for Second-Stage Tendon Reconstru
谢仁国、汤锦波(南通大学附属医院)
62.Upregulation of p16INK4A promotes cellular senescence of bone marrow-derived mesenchymal stem cells from systemic lupus erythematosus patients
顾志峰、曹晓蕾、姜津霞(南通大学附属医院)
63.Application of a new method of revealing foramen ovale under X-ray in radiofrequency ablation in the treatment of trigeminal neuralgia
何玉泉、沈云霞(南通市人民医院)、何 书(南通大学)
64.Simultaneous knockdown of APRIL via multiple shRNAs reduces the malignancy of SW480 cells
李海泉、鞠少卿、王惠民(南通大学附属医院)
65.Effects of paxillin on HCT-8 Human Colorectal Cancer Cells
秦 军、王志伟、马利林(南通大学附属医院)
66.Overexpression of glucose-regulated protein 94 after spinal cord injury in rats
徐大伟、崔志明、王友华(南通市人民医院)
67.Serun A PRIL,a potential tumor marker in pancreatic cancer
陈 琳(南通市第三人民医院)、王 峰(南通大学附属医院)、邵建国(南通市第三人民医院)
68.ALI/ARDS患者呼出气冷凝液中H2O2检测的临床意义
邢佳丽、陈建荣、陈金亮(南通市人民医院)
69.Refractive changes induced by flickering light and form deprivation in the C57BL/6 mouse
俞 莹、陈 辉、庹旌生(南通大学附属医院)
70.早发型重度子痫前期临床处理与母儿结分析
崔爱民(南通市妇幼保健院)
71.Neutrophil cell poprlation data:usefuo indicators for postsurgical bacterial infection
朱易华、曹兴建、陈宇翔(南通市人民医院)
72.锁骨钢板内固定治疗锁骨粉碎性骨折48例
朱雪峰(南通市老年康复医院)
73.灵芝多糖、水飞蓟素对不同程序肾小球内皮细胞氧化损伤的保护作用研究
赵 旭、郝传铮、黄 敏(南通大学附属医院)
74.Safety and efficacy osplenic artery coil embolization for hypersplenism in liver cirrhosis(弹簧圈栓塞脾动脉治疗肝硬化脾功能亢进的及有效性研究)
顾建建(通州区人民医院)
75.亚低温联合依达拉奉治疗对急性脑梗死患者近期预后的影响
黄盘冰、王建军、瞿永梅(通州区第三人民医院)
76.乳腺导管内乳头状瘤65例临床分析
吴金柱、倪 毅、胡进勇(南通市第三人民医院)
77.The Preventative Role of Curcumin on the Lung Inflammator y Response Induced by Cardiopulmonar y Bypass in Rats
刘 锟、沈 立、王 军(南通大学附属医院)
78.南通市2008-2011年市售熟肉制品中盐含量的调查分析
戴志英、程晓宏(南通市疾病控制中心)
79.纤维支气管镜检查中并发症的预防及护理
唐建美(南通市第六人民医院)
80.An active murine-human chimeric Fab antibody derived from Escherichia coli , potential therapy against over-expressing VEGFR2 solid tumors
黄剑飞、梁 杰、唐 奇(南通大学附属医院)
81.多种导剂联合对大鼠骨髓间充质干细胞体外向神经元样的影响
陈 翔、樊兴娟(南通大学附属医院)、毛伟峰(南通大学)
82.海安县农村居民疟疾防治健康教育需求
曹晓斌、王小健、顾光明(海安县疾病控制中心)
83.肝癌HIF-1α表达特征及在诊断与预后中的临床价值研究
王 理、姚登福、吴 玮(南通大学附属医院)
84.甲型H1N1病房医护人员负性心理调查分析
谢幸尔、钱湘云、韩建平(南通市第三人民医院)